యుటాంగ్ లి, జికాంగ్ గావో, వీ వెయ్ క్విన్, క్యూ జున్ వెన్, మా జియాన్ జున్, వీ డు, జియోకియాంగ్ చెన్, హు జుయే ఫెంగ్ మరియు వీ జాంగ్
550 నుండి 700°C వరకు వివిధ ఎనియలింగ్ ఉష్ణోగ్రతలను ఉపయోగించి సోల్-జెల్ టెక్నిక్ ద్వారా విభిన్న గ్రాన్ సైజుతో పెద్ద-ప్రాంతం పైజోఎలెక్ట్రిక్ ZnO ఫిల్మ్లు సంశ్లేషణ చేయబడ్డాయి. డిపాజిటెడ్ ఫిల్మ్ల యొక్క పైజోఎలెక్ట్రిక్ ఎఫిషియెన్సీ (PE) పైజోఎలెక్ట్రిక్ ఫోర్స్ మైక్రోస్కోపీ (PFM) ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది. అన్ని సంశ్లేషణ చేయబడిన చలనచిత్రాలు క్రిస్టల్ నిర్మాణాన్ని ప్రదర్శిస్తాయి. ఎక్స్-రే డిఫ్రాక్షన్ ద్వారా వర్గీకరించబడిన [0002] యొక్క రాక్ కర్వ్ యొక్క వెడల్పు ఎనియలింగ్ ఉష్ణోగ్రతతో తగ్గుతుంది, ఇది అధిక ఎనియలింగ్ ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఏర్పడిన మెరుగైన సి-యాక్సిస్ ఓరియెంటెడ్ ZnO ఫిల్మ్ను సూచిస్తుంది. ఎనియలింగ్ ఉష్ణోగ్రతలు 550 నుండి 700°C వరకు పెరిగినప్పుడు పెరిగిన ఫిల్మ్ల ధాన్యం పరిమాణం నిరంతరం 20 నుండి 60 nm వరకు పెరుగుతూ ఉంటుంది. ఫిల్మ్ల యొక్క పైజోఎలెక్ట్రిక్ సామర్థ్యం (PE, d33) బలమైన ధాన్యం పరిమాణంపై ఆధారపడటాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, అనగా, PE మొదట్లో ఎనియలింగ్ ఉష్ణోగ్రతతో పెరుగుతుంది మరియు తదుపరి ఎనియలింగ్ ఉష్ణోగ్రత పెరగడంతో తగ్గుతుంది. గరిష్టంగా PE విలువ 650°C వద్ద ఉన్న చలనచిత్రంలో కనిపిస్తుంది. విచిత్రమైన పైజోఎలెక్ట్రిక్ లక్షణాలను (d33) స్ఫటికాకార మధ్య పోటీ ద్వారా వివరించవచ్చు, ఇది మెరుగైన ద్విధ్రువ ధ్రువణత కారణంగా పెద్ద d33కి అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు ధాన్యం పరిమాణం, దీని ఫలితంగా డొమైన్ గోడ పరిమాణం మరియు పెద్ద ధాన్యం పరిమాణంలో పైజోఫోర్స్ విడుదల అవుతుంది. చలనం.